Genellikle UPW olarak kısaltılan ultra saf su, örnek nitelikteki özelliklere göre saflaştırılmış yüksek kaliteli suyu ifade eder. Esasen, ultra saf su çok düşük konsantrasyonlarda safsızlık içerir ve genellikle laboratuvarlarda ve ilaç endüstrisinde kullanılır. Yüksek saflıkta suyun farklı seviyeleri vardır, ancak ultra saf su özellikle 25°C'de 18,2 MΩ-cm'lik elektriksel direnç ile karakterize edilir.
Tipik olarak, ultra saf su, ayrıntılı ön arıtma, birincil arıtma ve son arıtma sistemlerinden oluşan ultra saf su sistemleri kullanılarak üretilir. Elektrot iyonizasyonu, ters ozmoz ve su deiyonizasyonu dahil olmak üzere ultra saf suya yönelik sürekli artan talebi karşılamak için çok sayıda teknoloji geliştirilmiştir. UPW üretimi genellikle USP, Avrupa Farmakopesi, ASTM ve EPRI gibi endüstri düzenleyicileri tarafından düzenlenir.